Личный кабинет
Подробное описание документа
Лазерный рефлектометрический метод измерения толщины и характеристик роста нанопленок золота на кварцевой подложке в процессе их напыления / Городничев В. А., Белов М. Л., Белов А. М., Федотов Ю. В. - DOI 10.18698/2308-6033-2012-9-354 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2012. - № 9. -
Скачать документ
Описан лазерный рефлектометрический метод измерения толщины и характеристик роста пленок металлов на диэлектрической подложке в процессе их напыления, основанный на измерении коэффициентов отражения в разные моменты времени и определении неизвестных значений толщины и характеристик роста пленки путем численного решения нелинейных уравнений. Математическое моделирование показывает, что для диапазона толщин 5...50 нм при измерениях на длине волны 515 нм толщина пленки золота и параметры ее роста могут быть восстановлены со среднеквадратической погрешностью меньше 0,5 и 8% соответственно при среднеквадратическом значении шума 1%.
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 9. - 2012.
