Подробное описание документа

Лазарева Н. Л., Пуряев Д. Т., Рожков О. В.
   Оптическая система двухдиапазонного интерферометра для контроля формы выпуклых сферических поверхностей диаметром до 600 мм / Лазарева Н. Л., Пуряев Д. Т., Рожков О. В. - DOI 10.18698/2308-6033-2013-7-835 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2013. - № 7. - П.Н. 48.

Скачать документ

Полнотекстовый документ

DOI 10.18698/2308-6033-2013-7-835

https://doi.org/10.18698/2308-6033-2013-…

engjournal.bmstu.ru/catalog/pribor/optica/835.html

https://engjournal.bmstu.ru/catalog/prib…

Предложена принципиально новая оптическая система двухдиапазонного интерферометра для бесконтактного контроля формы выпуклых сферических поверхностей диаметром до 600 мм. В качестве объектива, формирующего сферический рабочий волновой фронт, используется крупногабаритная линза, одна из поверхностей которой асферическая. Для расширения диапазона контролируемых поверхностей эта линза поворачивается вокруг вертикальной оси; при этом вносимая линзой волновая аберрация не превышает 0,005 длины волны He-Ne-лазера. Эталонный сферический волновой фронт формируется лучами, отраженными от выпуклой поверхности менисковой линзы, которая совместно куб-призмой образует оптическую систему, полностью исправленную на сферическую аберрацию.