Подробное описание документа

Али Мохаммед Мохаммед, Качурин Ю. Ю., Кирьянов А. П.
   Лазерная интерференционная холоэллипсометрия in situ с нормальным и брюстеровским отражениями света / Али Мохаммед Мохаммед, Качурин Ю. Ю., Кирьянов А. П. - DOI 10.18698/2308-6033-2013-7-836 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2013. - № 7. - П.Н. 49.

Скачать документ

Полнотекстовый документ

DOI 10.18698/2308-6033-2013-7-836

https://doi.org/10.18698/2308-6033-2013-…

engjournal.bmstu.ru/catalog/pribor/optica/836.html

https://engjournal.bmstu.ru/catalog/prib…

Рассмотрена холоэллипсометрия in situ с использованием лазерного интерференционного холоэллипсометра с бинарной модуляцией поляризации и нормальным и брюстеровским отражениями поляризованного света от одноосного двумерного кристалла, размещенного в плече интерферометра Майкельсона, который служит технической основой устройства.