Личный кабинет
Подробное описание документа
Оптимизации траектории движения катодного пятна для повышения равномерности выработки катода вакуумного дугового испарителя / Духопельников Д. В., Кириллов Д. В., Рязанов В. А., Чжо Вин Наинг. - DOI 10.18698/2308-6033-2013-10-1042 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2013. - № 10. -
Скачать документ
Проведен анализ профиля выработки катода в торцевом дуговом испарителе с арочным магнитным полем и управляемой траекторией движения катодного пятна. Получены зависимости для определения неравномерности выработки катода. Профиль выработки катода при фиксированном положении траектории катодного пятна аппроксимировался кривой Гаусса. Общий профиль выработки катода определялся суммированием профилей выработки, полученных при смещении траектории на заданный шаг. Найден оптимальный шаг смещения катодного пятна по радиусу: он соответствует 1/3 ширины зоны выработки при фиксированном положении траектории катодного пятна. При этом неравномерность выработки катода составляет менее 3%.
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 10. - 2013.
Похожие издания
