Подробное описание документа

Кутовой И. С., Радченко И. Н.
   Погрешность определения состава загрузки для роста слитков мультикристаллического кремния / Кутовой И. С., Радченко И. Н. - DOI 10.18698/2308-6033-2014-6-1262 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2014. - № 6. - П.Н. 5.

Скачать документ

Полнотекстовый документ

DOI 10.18698/2308-6033-2014-6-1262

https://doi.org/10.18698/2308-6033-2014-…

engjournal.bmstu.ru/catalog/machin/matsci/1262.html

https://engjournal.bmstu.ru/catalog/mach…

Описана методика и приведены результаты расчета погрешности определения целевой концентрации носителей заряда. Определены основные параметры, которые влияют на погрешность измерения удельного электрического сопротивления на слитке, полученном при использовании описанной в статье загрузки для его роста.