Личный кабинет
Подробное описание документа
Статья
Кутовой И. С.
Подготовка исходного сырья для роста слитков мультикристаллического кремния / Кутовой И. С., Радченко И. Н. - DOI 10.18698/2308-6033-2014-7-1263 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2014. - № 7. -
Скачать документ
Описан один из вариантов процесса очистки кремниевого сырья, сильно легированного мышьяком. Приведены результаты теоретического расчета эффективности предложенного метода, сочетающего процесс высокотемпературного вакуумного отжига с последующей кристаллизационной очисткой при выращивании кристаллов методом Чохральского. Представлена методика использования данного метода при подготовке загрузок для роста слитков мультикристаллического кремния.
Статья опубликована в следующих изданиях
п.н. 5
Журнал
Инженерный журнал: наука и инновации. - ISSN 2308-6033 (web).
№ 7. - 2014.
№ 7. - 2014.
