Личный кабинет
Подробное описание документа
Макарова М. В.
Проблемы формирования толстых слоев олова методом ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени / Макарова М. В., Моисеев К. М. - DOI 10.18698/2308-6033-2018-1-1717 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2018. - № 1. -
Скачать документ
Впервые реализован и исследован процесс осаждения толстопленочного оловянного покрытия методом ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени. Описана физика этого метода осаждения для пленок различных материалов и проанализированы этапы и особенности технологического процесса осаждения оловянных покрытий. Проведен анализ возникших технологических проблем, таких как повышенное тепловое воздействие на подложку в процессе осаждения, нестабильный переход процесса после плавления мишени в режим самораспыления, пониженные скорости осаждения при работе с расплавленным оловом, не перешедшим в режим самораспыления. Предложены пути решения перечисленных проблем, в результате реализации которых отработан стабильный процесс нанесения оловянных покрытий с высокими скоростями осаждения порядка 9 мкм/мин. Выполнена оценка качества образцов оловянного покрытия, осажденного на керамические подложки из нитрида алюминия, полученных при различных процессах осаждения.
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 1. - 2018.
