Подробное описание документа
Исследование параметров работы бессеточных ионных источников / Манегин Д. С., Соколов В. Д., Шилов С. О., Воробьев Е. В., Серушкин С. В., Ивахненко С. Г. - DOI 10.18698/2308-6033-2023-12-2322 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2023. - № 12. -
Проведены исследования влияния расхода рабочего газа и индукции магнитного поля на стабильность работы и разрядные характеристики бессеточных источников ионов низких энергий с расходящимся ионным пучком. Испытаны три типоразмера ионных источников с номинальными токами разряда 5 А, 10 А и 15 А, магнитные системы которых выполнены на основе постоянных магнитов, причем их количество изменялось для получения различных значений индукции магнитного поля. Для каждого типоразмера ионных источников были проработаны конфигурации с отражателем под плавающим потенциалом и под потенциалом анода. Получены вольт-амперные характеристики бессеточных ионных источников для различных значений расхода рабочего газа и индукции магнитного поля в газоразрядной камере. Определены рабочие диапазоны расходов газа, выбраны оптимальные значения индукции магнитного поля для каждого из сочетаний типоразмера и потенциала отражателя.
