Подробное описание документа
Морфология поверхности карбида кремния после микроцарапания молибдена / Носенко В. А., Авилов А. В., Харламов В. О., Бахмат В. И. - DOI 10.18698/0536-1044-2015-6-66-73 // Известия ВУЗов. Сер. "Машиностроение". - 2015. - № 6. -
Вершина кристалла из карбида кремния зеленого имеет форму конуса с углом при вершине 120° и радиусом закругления 25…30 мкм. После микроцарапания молибдена на поверхности кристалла карбида кремния формируется площадка износа, покрытая почти параллельно расположенными микротрещинами, ширина которых достигает 0,4 мкм, глубина 3…5 мкм. Глубину микротрещин измеряли на вертикальной стенке микросечения, полученной методом ионного травления выбранного участка поверхности непосредственно в камере электронного микроскопа Versa 3D. Установлено, что молибден заполняет большинство трещин, образованных на площадке износа, проникая на глубину до 2…3 мкм при ширине трещины на границе проникновения металла около 40 нм. Наличие молибдена и глубина проникновения определены методом локального микрорентгеноспектрального анализа. На поверхности площадки износа возможно образование отдельных участков налипшего металла. Интенсивность переноса молибдена на площадку износа кристалла карбида кремния существенно меньше, чем при микроцарапании титана и ниобия.
