Личный кабинет
Подробное описание документа
Валюхов С. Г.
Влияние условий магнетронного напыления на структуру жаростойких наноструктурированных покрытий из диоксида циркония ZrO2 / Валюхов С. Г., Стогней О. В., Филатов М. С. - DOI 10.18698/0536-1044-2015-11-97-105 // Известия ВУЗов. Сер. "Машиностроение". - 2015. - № 11. -
Скачать документ
Представлено получение методом магнетронного высокочастотного распыления керамической мишени наноструктурированных покрытий из стабилизированного диоксида циркония Zr(Y, Hf)O 2 , имеющих двухфазную структуру, состоящую из моноклинной и тетрагональной фаз. Установлено, что парциальное давление кислорода O2 в рабочей камере влияет на соотношение фаз, в частности, увеличение давления O 2 (от 0,23 до 0,65 Па) приводит к значительному возрастанию объемной доли моноклинной фазы в напыляемом покрытии (от 15 до 85 %). Показано, что размер зерен в формирующейся наноструктуре чувствителен к количеству O2 лишь при низких парциальных давлениях (менее 0,35 Па); формирование однофазной (тетрагональной) структуры в покрытии происходит после отжига при температуре 1100 °С и выше, при этом наноструктурированность материала сохраняется; переход к однофазной структуре сопровождается увеличением микротвердости покрытия.
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 11. - 2015.
