Подробное описание документа

Крапухин В. В., Соколов И. А., Кузнецов Г. Д.
   Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии : учебник для вузов / Крапухин В. В., Соколов И. А., Кузнецов Г. Д. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Изд-во МИСИС, 1995. - 495 с. : ил. - Библиогр.: с. 490-492. - ISBN 5-87623-004-9.

Во втором издании учебника (первое вышло в 1982 г.) на современном уровне представлены общие положения термодинамики необратимых процессов; закономерности диффузии и термокинетики в неподвижной и движущейся средах, макрокинетики гетерогенных процессов; математическое описание двухфазных равновесий: Р-Т-х диаграммы состояния, их проекции и сечения. Рассмотрены материальный баланс, термодинамика и кинетика широко используемых процессов получения материалов из паровой, парогазовой и жидкой фаз. На атомно молекулярном уровне описана кинетика процессов получения эпитаксиальных слоев, пленок и монокристаллов. Впервые изложены методы нетермической активации и плазмохимические процессы, причины возникновения дефектов при ионном воздействии на материалы.
Предназначен для студентов вузов, обучающихся по направлению "Электроника и микроэлектроника" и специальности "Материалы и компоненты твердотельной электроники".

УДК

621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Предметные рубрики

• Электронные материалы - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

3 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
4. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
5. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313