Подробное описание документа

   Вакуумная ионно-плазменная обработка : учебное пособие для вузов / Ильин А. А., Плихунов В. В., Петров Л. М., Спектор В. С. - М. : ИНФРА-М : Альфа-М, 2026. - 157 с. : ил. - (Современные технологии: Магистратура). - Библиогр.: с. 150-155. - На обложке и титульном листе авторы не указаны. - ISBN 978-5-16-009188-4. - ISBN 978-5-98281-366-4.

Рассматриваются актуальные вопросы формирования потоков газовой и металлической плазмы, равномерность их распределения в рабочем объёме камер вакуумных установок, а также изменения конденсата металлической плазмы при формировании структур и свойств модифицированных поверхностных слоёв, однослойных, многослойных, градиентных наноструктурных покрытий при вакуумной ионно-плазменной обработке. Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов».