Подробное описание документа

Титушкин А. В.
   Верификация результатов расчета магнитных полей в магнетронной распылительной системе / Титушкин А. В. - DOI 10.18698/2541-8009-2017-7-132 // Политехнический молодежный журнал МГТУ им. Н. Э. Баумана. - 2017. - № 7. - П.Н. 8.

Скачать документ

Полнотекстовый документ

DOI 10.18698/2541-8009-2017-7-132

https://doi.org/10.18698/2541-8009-2017-…

ptsj.bmstu.ru/catalog/icec/sacip/132.html

https://ptsj.bmstu.ru/catalog/icec/sacip…

Произведено сопоставление результатов прямых стендовых измерений топологии и величины магнитного поля в магнетронной распылительной системе на постоянных магнитах с мишенью диаметром 50 мм с результатами моделирования, полученными при помощи программы конечно-элементного анализа. Показано, что результаты измерений и расчета хорошо согласуются.