Личный кабинет
Подробное описание документа
Грешилов В. В.
Выравнивание потоков материалов в магнетронных распылительных системах / Грешилов В. В. - DOI 10.18698/2541-8009-2017-10-185 // Политехнический молодежный журнал МГТУ им. Н. Э. Баумана. - 2017. - № 10. -
Скачать документ
Для получения равномерных по толщине пленок методом магнетронного распыления применяют различные подходы. Один из наиболее популярных — использование спрофилированных маскирующих профилей. В данной работе представлена методика проектирования таких профилей. Предложенный способ изложен в теоретическом виде и проверен экспериментально. Для разработанного метода был создан модуль на языке Python. В ходе работы получен маскирующий контур, обеспечивающий отклонение равномерности толщины пленки ± 2 %.
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 10. - 2017.
