Личный кабинет
Подробное описание документа
Федюнин А. П.
Контроль сопротивления тонкопленочного покрытия в режиме реального времени / Федюнин А. П. - DOI 10.18698/2541-8009-2017-11-203 // Политехнический молодежный журнал МГТУ им. Н. Э. Баумана. - 2017. - № 11. -
Скачать документ
Одной из приоритетных задач при контроле технологического процесса по формированию тонкопленочного покрытия является его остановка при достижении заданного электрического сопротивления пленки. Рассмотрен контроль толщины проводящего покрытия через его электрическое сопротивление. По данному методу контроля предложена электрическая измерительная система, которая ориентирована на получение островковых наноразмерных структур и встраивается в подложкодержатель внутрикамерной оснастки. Проведены эксперименты по измерению текущего сопротивления тонкой пленки в процессе магнетронного распыления.
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 11. - 2017.
