Личный кабинет
Подробное описание документа
Кривошеев А. В.
Получение тонких алмазоподобных пленок методом импульсного лазерного осаждения и исследование их свойств / Кривошеев А. В., Пономаренко С. Л. - DOI 10.18698/2541-8009-2018-6-324 // Политехнический молодежный журнал МГТУ им. Н. Э. Баумана. - 2018. - № 6. -
Скачать документ
Проанализированы методы получения тонких пленок, описано применение метода импульсного лазерного осаждения для получения тонких алмазоподобных пленок. Рассмотрены различные способы измерения толщины тонких пленок. Описана лазерная установка PLD-400, включающая эксимерный лазер CL 7000 и вакуумную систему с турбомолекулярным насосом Turbovac 350 i. Экспериментальная часть посвящена выявлению оптимальных технологических параметров импульсного лазерного осаждения. Измерение толщины осуществлялось методом эллипсометрии. Выяснено, что способ очистки напыляемой поверхности влияет на устойчивость покрытия, а глубина вакуума и расстояние между мишенью и подложкой на толщину пленки.
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 6. - 2018.
