Личный кабинет
Подробное описание документа
Кривошеев А. В.
Создание массочувствительных пьезоэлементов методом импульсного лазерного осаждения / Кривошеев А. В., Пономаренко С. Л. - DOI 10.18698/2541-8009-2019-6-492 // Политехнический молодежный журнал МГТУ им. Н. Э. Баумана. - 2019. - № 6. -
Скачать документ
Обозначена проблема точности контроля загрязнения окружающей среды. Описана проблема существующих измерительных приборов, в основе которых лежит кварцевый пьезоэлемент. Приведены преимущества кварцевых микровесов над другими методами измерения концентрации. Показана конструкция кварцевого массочувствительного датчика. Предложен метод его изготовления — импульсное лазерное осаждение, указаны преимущества методов над аналогами. Описан эксперимент, проведенный на установке НаноФаб 100. Указаны параметры эксперимента, такие как число импульсов, частота следования импульсов, давление в камере, расстояние между мишенью и подложкой. Приведена таблица с результатами измерения частоты собственных колебаний резонатора до и после нанесения на него покрытия. Указаны полученные значения массы и толщины осажденного слоя. Отмечены возможности определения концентрации вещества в среде.
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 6. - 2019.
