Подробное описание документа

   Особенности лазерного микроструктурирования сегнетоэлектрических пленок поливинилиденфторида наносекундными импульсами с длиной волны 263 нм / Деримедведь Д. К., Сампара О. Е., Бурьянская Е. Л., Епифанов Е. О., Михалев П. А., Юсупов В. И., Мареев Е. И., Минаев Н. В. // Квантовая электроника. - 2025. - Т. 55, № 11. - CD-ROM 729-738.

Исследованы особенности лазерного микроструктурирования сегнетоэлектрических полимерных плёнок на основе поливинилиденфторида (ПВДФ) при воздействии наносекундного излучения УФ диапазона (λ = 263 нм). Установлено, что выбранные параметры облучения обеспечивают формирование микроканавок и кратеров с минимальной степенью карбонизации при сохранении сегнетоэлектрической β-фазы, что подтверждено методом спектроскопии комбинационного рассеяния. Показано, что морфология микроструктур чувствительна к положению фокуса, а повторный проход лазерным излучением улучшает их качество. Выявлены два характерных пороговых уровня плотности энергии, соответствующих переходу от режима плавления материала Fth1 = 19 ± 12 Дж/см2 к режиму термоабляции Fth2 = 50 ± 14 Дж/см2. Установлены принципиальные различия в механизмах поглощения и пороговых режимах абляции в сравнении с аналогичными результатами обработки фемтосекундными ИК импульсами (λ = 1032 нм). Полученные результаты создают основу для разработки функциональных микро- и наноразмерных сенсорных элементов и устройств микроэлектроники на основе ПВДФ.
Ключевые слова лазерное микроструктурирование, сегнетоэлектрические полимерные материалы, поливинилиденфторид, спектроскопия комбинационного рассеяния