Подробное описание документа

Кошелева М. А., Ибрагимов А. Р.
   Исследование методов очистки образцов, полученных силовой литографией на атомно-силовом микроскопе / Кошелева М. А., Ибрагимов А. Р. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов (с международным участием), 18-я, (Москва, 23 - 26 сентября 2025 года) : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - 2026. - Т. 1. - С. 351-355.

Скачать документ

Полнотекстовый документ

Силовая зондовая литография — метод сканирующей зондовой нанолитографии, основанный на механическом воздействии остроконечного зонда атомно-силового микроскопа на поверхность образца. Технология обеспечивает контролируемое удаление материала из матрицы с целью формирования топологии с точными геометрическими параметрами. Основным недостатком метода является загрязнение поверхности удаленными частицами, в связи с чем обязательным этапом является постобработка поверхности с целью очистки. Анализ эффективности методов очистки проводился с использованием коллоидной фотонно-кристаллической пленки с диаметром части 400 нм, характеризующейся упорядоченной периодической структурой и развитым рельефом. В работе представлена методика очистки поверхности путем механического перемещения частиц зондом атомно-силового микроскопа. По результатам работы был сделан ряд выводов о том, что неправильный подбор режимов очистки может привести к повреждению структуры, сформированной методом СЗЛ. При оптимальных значениях воздействиях зонда на образец и скорости его перемещения методика позволяет эффективно обрабатывать поверхность после СЗЛ.