Подробное описание документа
Мельников Д. М.
Микрообработка стекла фемтосекундным лазером для изготовления микрофлюидных устройств / Мельников Д. М., Гришкина Ю. И. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов (с международным участием), 18-я, (Москва, 23 - 26 сентября 2025 года) : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - 2026. - Т. 1. -
В работе рассмотрен процесс микрообработки стекла фемтосекундным лазером с целью получения микроструктур для микрофлюидных чипов. Показано, что применение ультракоротких лазерных импульсов позволяет преодолеть ограничения традиционных методов обработки прозрачных материалов, обеспечивая высокую точность и минимальное термическое воздействие. Проведен анализ влияния технологических параметров (энергии импульса, частоты повторения, скорости сканирования) на качество и геометрию каналов.
Статья опубликована в следующих изданиях
Т. 1. - 2026. - 659 с. : ил. - Библиогр.
