Подробное описание документа

Середина В. А., Михайлова А. В.
   Получение микроканалов в стекле для микрофлюидных чипов с помощью фемтосекундной лазерной абляции / Середина В. А., Михайлова А. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов (с международным участием), 18-я, (Москва, 23 - 26 сентября 2025 года) : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - 2026. - Т. 1. - С. 428-434.

Скачать документ

Полнотекстовый документ

В работе исследовано влияние параметров фемтосекундного лазерного излучения (длина волны 1035 нм, длительность импульса 270 фс) на процесс формирования микрофлюидных каналов в силикатном стекле. Экспериментально определено пороговое значение плотности энергии, необходимое для абляции материала, и установлены зависимости геометрических характеристик каналов от параметров обработки. Показано, что глубина каналов достигает насыщения при определенной плотности энергии, а увеличение количества проходов лазера снижает порог абляции. Метод фемтосекундной лазерной абляции подтвердил свою эффективность для изготовления микрофлюидных структур с контролируемой геометрией.