Подробное описание документа

Сагателян Г. Р.
   Методика расчёта равномерности толщины покрытия при магнетронном напылении : учеб.-метод. пособие / Сагателян Г. Р. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : НАУЧНАЯ БИБЛИОТЕКА, 2026. - 45 с. : ил. - ISBN 978-5-908155-81-6.

Аннотация

Изложена методика расчёта распределения толщины покрытия по поверхности подложки при магнетронном напылении магнетронами протяжённой конфигурации. Рассмотрена кинематика операции напыления на установках, снабжённых планетарным механизмом перемещения подложки. Приведены аналитические зависимости кинематических и геометрических параметров процесса осаждения от варьируемых факторов технологического режима.
Предназначено для проведения семинарских занятий по курсу «Функциональные покрытия в приборостроении».

УДК

621.793.1 Нанесение покрытий и осаждение пленок вакуумным испарением и конденсацией. Вакуумная металлизация

Предметные рубрики

• Пленки - Получение - Применение вакуума
• Металлизация в вакууме - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

5 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Заявка на закупку

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
4. Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345