Подробное описание документа

Сагателян Г. Р., Сорин Е. А.
   Исследование электромагнитного поля плоского спирального индуктора установки плазмохимического травления Caroline PE15 : метод. указ. к выполн. лаб. работы по курсу "Основы проектирования и эксплуатации нанотехнол. оборуд. " : учеб. пособие / Сагателян Г. Р., Сорин Е. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Спутник+, 2026. - 30 с. : ил. - Библиогр.: с.30. - ISBN 978-5-9973-7413-6.

Аннотация

Рассмотрены физические основы формирования плазмы высокочастотного разряда индуктором в форме плоской спирали на установках для плазмохимического травления пластин из полупроводниковых и диэлектрических материалов электронной техники. Приведена теория электромагнитного поля, создаваемого плоским индуктором. Описана методика экспериментального исследование пространственного распределения электрической и магнитной составляющих электромагнитного поля, создаваемого плоским индуктором.

УДК

533.9 Физика плазмы

Предметные рубрики

• Травление металлов плазменное - Учебники и пособия
• Электромагнитное поле - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

2 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Заявка на закупку

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345