Подробное описание документа

Сапего Е. Н., Закасовский И. Н.
   Прогнозирование XRD спектров тонких BaSnₓTi1–ₓO3 пленок методами машинного обучения / Сапего Е. Н., Закасовский И. Н. // Цифровое материаловедение : сборник статей 2-ой Всероссийской научно-практической конференции (Москва, 24 - 25 ноября 2025 года) / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2025. - С. 109-114.

Просмотреть документ Скачать файл

Полнотекстовый документ

Показана возможность прогнозирования дифрактограмм сегнетоэлектрических тонких пленок BaSnₓTi1–ₓO3 методами машинного обучения в зависимости от технологических параметров магнетронного ВЧ-распыления, состава мишени и типа подложки. Проведен сравнительный анализ моделей, выявлена наилучшая по точности модель Random Forest и рассмотрены способы повышения достоверности прогнозов путем нормализации и обработки данных.