Подробное описание документа

Веснин В. Р., Вершаловский Н. А.
   Исследование влияния термической обработки на оптические свойства пленок оксида тантала на германиевых подложках / Веснин В. Р., Вершаловский Н. А. // Русский инженер : сборник тезисов 3-го Международного конгресса (Москва, 29 - 31 октября 2025 года) / МГТУ им. Н. Э. Баумана ; вступ. сл. Гордин М. В. - М., 2025. - С. 39-40.

Просмотреть документ Скачать файл

Полнотекстовый документ

В работе исследовано влияние термической обработки на оптические свойства тонких пленок оксида тантала (V), нанесенных на германиевые подложки. Показаны оптические характеристики после каждого отжига (100–600 °C) с использованием ИК и рамановской спектроскопии. Также по спектральным данным отражения в видимом диапазоне рассчитывалась толщина покрытий. Данное исследование направлено на создание и апробацию методики изучения тонкопленочных покрытий после термической обработки.