Подробное описание документа

Родимкин Н. И., Александров А. Р., Шупенев А. Е.
   Оптимизация качества и производительности фемтосекундной микрообработки изменением фокусного расстояния / Родимкин Н. И., Александров А. Р., Шупенев А. Е. // Русский инженер : сборник тезисов 3-го Международного конгресса (Москва, 29 - 31 октября 2025 года) / МГТУ им. Н. Э. Баумана ; вступ. сл. Гордин М. В. - М., 2025. - С. 138-140.

Просмотреть документ Скачать файл

Полнотекстовый документ

Рассмотрено влияние фокусного расстояния (30–75 мм) на параметры фемтосекундной лазерной микрообработки. Показано, что уменьшение фокусного расстояния до 30 мм приводит к уменьшению диаметра пучка и ширины реза при одновременном увеличении плотности мощности, что повышает прецизионность обработки. И наоборот, при увеличении фокусного расстояния возрастает ширина реза и снижается интенсивность излучения, что ограничивает точность, но повышает стабильность процесса. Таким образом, продемонстрировано, что выбор фокусного расстояния является инструментом управления балансом между качеством и производительностью. Результаты могут быть использованы при оптимизации режимов микрообработки в микроэлектронике и приборостроении.