Подробное описание документа

Ханбеков И. Ф.
   Применение ультразвуковой десорбции при откачке аналитических электровакуумных приборов / Ханбеков И. Ф. // Русский инженер : сборник тезисов 3-го Международного конгресса (Москва, 29 - 31 октября 2025 года) / МГТУ им. Н. Э. Баумана ; вступ. сл. Гордин М. В. - М., 2025. - С. 160-161.

Просмотреть документ Скачать файл

Полнотекстовый документ

Быстрое достижение и сохранение высокого вакуума внутри аналитических электровакуумных приборов высокого разрешения, к которым относится большое количество масс-спектрометров, является важным фактором, влияющим на чувствительность приборов, их разрешающую способность, соотношение полезного сигнала к шуму, а также, срок службы. В современных масс-спектрометрах, как правило не применяются методы ускорения десорбционных процессов, во многом это объясняется наличием внутри приборов деталей из полимерных материалов. Для увеличения эффективности откачки приборов возможно применение ультразвукового воздействия, ускоряющего десорбционные процессы с поверхностей твердого тела в вакууме и при этом не требующего дополнительного высокотемпературного прогрева обезгаживаемых поверхностей.