Подробное описание документа
Метод уменьшения погрешности в оптическом преобразователе перемещений на основе эффекта Тальбота с линейным фотоприемником / Гармаев А. Т., Стригалев В. Е., Васильев А. С., Кузнецов В. Н., Кукушкин Д. Е. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2026. - № 3. -
Исследован метод опроса фотоприемного модуля в оптическом инкрементном преобразователе линейных перемещений открытого типа, основанный на использовании эффекта Тальбота. В качестве фотоприемного модуля использована линейная КМОП-матрица GL3504. Разработан метод формирования квадратурных сигналов с помощью выбора областей опроса, состоящих из таких групп пикселей, дистанция между областями опроса A+∗ и A-∗ которых кратна половине периода изображения кодирующей структуры и размеру пикселя матрицы. Такой подход позволил существенно снизить уровень периодической составляющей погрешности, характерной для инкрементных преобразователей перемещений. На базе теории скалярной дифракции построена модель распределения облученности в плоскости фотоприемного устройства и реализована цепь преобразования полученного перемещающегося изображения кодирующей структуры в сигналы устройства. Вычислена погрешность преобразования при использовании предложенного метода опроса фотоприемного модуля. Размах погрешности преобразования в компьютерной модели составляет 0,2 мкм. Проведены экспериментальные исследования с использованием лабораторного макета инкрементного преобразователя перемещений и стеклянной кодирующей структурой с периодом следования штрихов 40 мкм. Полученные результаты подтверждают эффективность разработанной схемы опроса: размах периодической составляющей погрешности при реальных измерениях 0,3 мкм Просьба ссылаться на эту статью следующим образом: Гармаев А.Т., Стригалев В.Е., Васильев А.С. и др. Метод уменьшения погрешности в оптическом преобразователе перемещений на основе эффекта Тальбота с линейным фотоприемником. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение, 2026, № 3 (156), с. 28–46. EDN: ACMKJS
