Подробное описание документа

Перевощиков В. А., Скупов В. Д.
Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников : монография / Перевощиков В. А., Скупов В. Д. - Нижний Новгород : Изд-во Нижегородского ун-та, 1992. - 196 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 189-196. - ISBN 5-230-04179-X.

УДК
621.315.592 Полупроводники

Предметные рубрики

Полупроводники - Травление

Полупроводники - Шлифование

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313