Подробное описание документа

   Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : учебное пособие для вузов / Сазонов А. А., Корнилов Р. В., Кохан Н. П. [и др.] ; ред. Сазонов А. А. - М. : Высшая школа, 1991. - 333 с. - Библиогр.: с. 332. - ISBN 5-06-000731-6.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Интегральные схемы - Производство - Автоматизация - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

5 экз.

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313