Подробное описание документа

Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : учебное пособие для вузов / Сазонов А. А., Корнилов Р. В., Кохан Н. П. [и др.] ; ред. Сазонов А. А. - М. : Высшая школа, 1991. - 333 с. - Библиогр.: с. 332. - ISBN 5-06-000731-6.

УДК
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

Интегральные схемы - Производство - Автоматизация - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах
5 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313