Подробное описание документа
Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике : сб. науч. тр. / Воронежский государственный университет им. Ленинского комсомола. - Воронеж, 1989. - 196 с.
621.315.592 Полупроводники1 экз.![]()
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313