Подробное описание документа

Ефимов И. Е., Козырь И. Я., Горбунов Ю. И.
   Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность : учеб. пособие для вузов / Ефимов И. Е., Козырь И. Я., Горбунов Ю. И. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высш. шк., 1986. - 463 с. : ил. - Библиогр.: с. 458.

В книге изложены основные принципы и направления развития микроэлектроники; приведена ссификация изделий микроэлектроники и их общая характеристика; описаны физико-химические основы и технология, изготовления полупроводниковых и гибридных ИМС и БИС.
Во 2-м издании(I-e - 1977 г.) использованы последние достижения в разработке ИМС, более подробно рассмотрены новые технологические процессы и т.д.

УДК

621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Предметные рубрики

• Микроэлектроника - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

11 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Абонемент младших курсов №1, УЛК, ауд. 247л
2. Абонемент младших курсов №2, УЛК, ауд. 205л
3. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
4. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
5. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
6. Читальный зал ауд. 345, ГУК, ауд. 345
7. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
8. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313