Подробное описание документа

Ефимов И. Е., Козырь И. Я., Горбунов Ю. И.
Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность : учеб. пособие для вузов / Ефимов И. Е., Козырь И. Я., Горбунов Ю. И. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высшая школа, 1986. - 463 с. : ил. - Библиогр.: с. 458.

Аннотация

В книге изложены основные принципы и направления развития микроэлектроники; приведена ссификация изделий микроэлектроники и их общая характеристика; описаны физико-химические основы и технология, изготовления полупроводниковых и гибридных ИМС и БИС.
Во 2-м издании(I-e - 1977 г.) использованы последние достижения в разработке ИМС, более подробно рассмотрены новые технологические процессы и т.д.

УДК
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Предметные рубрики

Микроэлектроника - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах
11 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Абонемент младших курсов №1, УЛК, ауд. 247л
Абонемент младших курсов №2, УЛК, ауд. 205л
Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313