Подробное описание документа

Парфенов О. Д.
   Технология микросхем : учеб. пособие для вузов / Парфенов О. Д. - М. : Высшая школа, 1986. - 318 с. : ил. - Библиогр.: с. 317.

Аннотация

В книге рассмотрены технологические основы производства интегральных
полупроводниковых и гибридных пленочных микросхем. Наряду с традицион- ной технологией приведены методы обработки и сборки,которые становятся основополагающими в производстве микропроцессорных БИС и микросборок, даны необходимые сведения о технологическом оборудовании.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Интегральные схемы - Производство - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

• Парфенов Олег Дмитриевич

Общее кол-во в фондах

12 экз.

1. Абонемент младших курсов №1, УЛК, ауд. 247л
2. Абонемент младших курсов №2, УЛК, ауд. 205л
3. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
4. Абонемент третьего курса, УЛК, ауд. 311л
5. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
6. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
7. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Похожие издания