Подробное описание документа

   Диссертация

Булыгина Е. В.
   Повышение выхода годных СБИС путём удаления привнесённых микрочастиц в вакууме : 05.27.07 : дис... ктн / Булыгина Е. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 1997. - 182 л. - Библиогр.: л.174-180.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметная рубрика

• Интегральные схемы большие - Диссертации

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.221л, УЛК, ауд. 221л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л