Подробное описание документа

Булыгина Е. В.
   Повышение выхода годных СБИС путем удаления привнесенных микрочастиц в вакууме : 05. 27. 07 : дис... ктн / Булыгина Е. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1997. - 182 л. - Библиогр.: л. 174-180.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Интегральные схемы большие - Диссертации

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л