Подробное описание документа

Альтудов Ю. К., Гарицын А. Г.
   Лазерные микротехнологии и их применения в электронике / Альтудов Ю. К., Гарицын А. Г. - М. : Радио и связь, 2001. - 631 с. : ил. - (Технология микроэлектроники). - Библиогр.: с. 572-614. - ISBN 5-256-01589-3.

Аннотация

Авторами проведён анализ достижений и проблем бурно развивающихся в настоящее время лазерных микротехнологий. Рассмотрены основные физико-химические особенности лазерностимулированных микропроцессов на поверхности твёрдого тела.
Представлены результаты исследований отечественных и зарубежных специалистов по лазерной обработке микроструктур интегральных схем. Даётся описание лазерного оборудования для производства изделий электронной техники. Проанализированы возможности создания комплексов лазерного оборудования с обработкой интегральных схем in situ в замкнутом вакуумном объёме.
Книга рассчитана на широкий круг специалистов в области электронных технологий и рекомендуется преподавателям, аспирантам, студентам для более углублённого изучения вопросов теории и практики по этому направлению.

УДК

621.373.826 Лазеры

Предметные рубрики

• Лазерная металлообработка
• Интегральные схемы - Производство

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313