Подробное описание документа

Сыркин В. Г.
   CVD-метод. Химическое парофазное осаждение : монография / Сыркин В. Г. ; Российская академия наук, Институт металлоорганической химии им. Г. А. Разуваева. - М. : Наука, 2000. - 495 с. : ил. - Библиогр.: с. 467-491. - ISBN 5-02-001683-7.

Книга посвящена изложению теории и практики CVD-метода (Chemical Vapor Deposition) -осаждению металлических пленок, покрытий, вискеров и высокодисперсных частиц из паровой (газовой) фазы летучих металлсодержащих соединений - карбонилов металлов, бис-п-циклопентадиенильных соединений (металлоцены), алкилов металлов, Р-дикетонатов металлов и галогенидов металлов.
Описаны принципы выбора исходных веществ для CVD-металлизации в вакууме, в несущем газе, в плазме газового разряда, при электронно-дуговом методе и при помощи лазера.
Изложен материал по получению функциональных металлических пленок, покрытий и вискеров использующихся в радиоэлектронике, электронной технике, машиностроении, авиации, космонавтике и других отраслях науки и техники.
Для широкого круга лиц, интересующихся вопросами получения металлов в виде различных модификаций, химиков, работающих с металлоорганическими соединениями и специализирующихся на методах их термической диссоциации.

УДК

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Предметные рубрики

• Металлизация газопламенная

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313