Подробное описание документа

Иевлев В. М., Бугаков А. В., Трофимов В. И.
   Рост и субструктура конденсирования плёнок : учебное пособие / Иевлев В. М., Бугаков А. В., Трофимов В. И. ; Воронежский государственный технический университет. - Воронеж : Изд-во ВГТУ, 2000. - 386 с. : ил. - Библиогр.: с. 386.

Аннотация

В пособии даны современные представления о механизмах (видах) роста неорганических пленок при конденсации в вакууме на поверхность твердого тела. Рассмотрены кинетика трехмерного зарождения и роста зародышей, кинетика слоевого роста, современные стохастические модели роста. Даны наиболее полные представления о закономерностях сопряжения фаз в системах подложка-пленка и многослойных пленочных системах при ориентированной кристаллизации пленок из паровой фазы. Описаны дефекты кристаллического строения пленок. Подробно анализируется структура межфазных границ. Рассмотрены способы ориентированной кристаллизации пленок на неориентирующих (аморфных) подложках. Приведены сведения об атомной структуре поверхности пленок и способы описания ее морфологии.
Издание предназначено для студентов и аспирантов специальностей “Материалы и компоненты твердотельной электроники” и “Микроэлектроника и полупроводниковые приборы”. Оно может быть также использовано при обучении студентов по другим образовательным программам, содержащим материаловедческую подготовку.

УДК

539.216.2 Пленки. Тонкие пленки

Предметные рубрики

• Пленки - Получение - Применение вакуума

Общее кол-во в фондах

3 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313