Подробное описание документа

Черняев А. В.
   Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия / Черняев А. В. - М. : Радио и связь, 1990. - 85 с.

УДК

621.3.049.774 Полупроводниковые интегральные схемы. Твердые схемы. Монолитные схемы

Общее кол-во в фондах

4 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313