Подробное описание документа

   Разработка вакуумных технологических методов формирования сверхтвердых нанокомпозитных материалов и исследование их свойств : отчёт о НИР (заключительный) / МГТУ. Каф. "Электронные технологи в машиностроении"(МТ-11) ; рук. нир Панфилов Ю. В. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2002. - 58 л. - Библиогр.: л. 57-58. - Шифр 0501016. - Инв. № 02.20.0303268.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Пленки - Получение - Применение вакуума

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л