Подробное описание документа

Хохлов Ю. А.
   Нанесение оптических покрытий методами вакуумно-плазменной технологии : учеб. пособие / Хохлов Ю. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2004. - 81 с. : ил. - Библиогр.: с. 80. - ISBN 5-7038-2444-3.

Скачать оглавление

Рассмотрены основы разработки и технологии получения тонкопленочных оптических покрытий вакуумно-плазменными методами, включая проектирование интерференционных покрытий, подготовку поверхности подложки, основные стадии формирования тонких пленок в вакууме и физические процессы, определяющие качество покрытия.
Для студентов старших курсов технических вузов, а также инженеров, занимающихся разработкой плазменных установок и тех- нологических процессов получения оптических покрытий.

УДК

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Предметные рубрики

• Пленки - Получение - Применение вакуума

Общее кол-во в фондах

18 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Абонемент третьего курса, УЛК, ауд. 311л
3. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
5. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
6. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313