Подробное описание документа

Сафонов А. Н., Шиганов И. Н.
   Лазерная микротехнология (Конспект лекций) : учеб. пособие / Сафонов А. Н., Шиганов И. Н. ; ред. Сафонов А. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1999. - 49 с. : ил. - Библиогр.: с. 49. - ISBN 5-7038-1447-2.

Читать онлайн Аннотация

Рассмотрены основные аспекты применения лазеров и лазерной техники в различных отраслях микроэлектроники.
Для студентов старших курсов, изучающих технологию лазерной обработки.

УДК

621.375.826 Оптические мазеры (лазеры)

Предметные рубрики

• Лазеры - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

• Шиганов Игорь Николаевич

Общее кол-во в фондах

2 экз.

1. Абонемент научной литературы ГУК, ГУК, ауд. 313
2. Абонемент научной литературы УЛК, УЛК, ауд. 119л
3. Читальный зал младших курсов №1, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал младших курсов №2, УЛК, ауд. 221л
5. Читальный зал старших курсов, ГУК, ауд. 313