Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

Сафонов А. Н., Шиганов И. Н.
   Лазерная микротехнология (Конспект лекций) : учеб. пособие / Сафонов А. Н., Шиганов И. Н. ; ред. Сафонов А. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1999. - 49 с. : ил. - Библиогр.: с. 49. - ISBN 5-7038-1447-2.

Скачать документ
Полнотекстовый документ

Рассмотрены основные аспекты применения лазеров и лазерной техники в различных отраслях микроэлектроники.
Для студентов старших курсов, изучающих технологию лазерной обработки.

621.375.826 Оптические мазеры (лазеры)
2 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
  1. Абонемент научной литературы ГУК, ГУК, ауд. 313
  2. Абонемент научной литературы УЛК, УЛК, ауд. 221л
  3. Читальный зал ауд. 221л, УЛК, ауд. 221л
  4. Читальный зал ауд. 305л, УЛК, ауд. 305л
  5. Читальный зал ауд. 313, ГУК, ауд. 313