Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2867239 Российская Федерация.
СПОСОБ СОЗДАНИЯ ФАЗОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ПОВЕРХНОСТИ ПОЛИМЕТИЛМЕТАКРИЛАТА ФЕМТОСЕКУНДНЫМИ ЛАЗЕРНЫМИ ИМПУЛЬСАМИ СРЕДНЕГО ИНФРАКРАСНОГО ДИАПАЗОНА : № 2025131640 : заявл. 13.11.2025 : опубл. 30.07.2026 / Сазонкин С. Г., Аверкиева У. С., Першин К. Б. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к области лазерного приборостроения, к способам создания фазовых оптических элементов на поверхности оптически прозрачных полимеров посредством лазерной модификации. Способ включает облучение поверхности полиметилметакрилата (ПММА) фемтосекундными лазерными импульсами среднего инфракрасного диапазона с длиной волны 3 мкм, длительностью импульсов 150 фс, фокусировку их вблизи поверхности на глубине от минус 300 до 300 мкм, перемещение лазерного пятна по заданным траекториям со скоростью от 10 до 1000 мкм/с, управление высотой и шириной создаваемого рельефа путем изменения энергии импульсов, скорости сканирования, количества проходов и глубины фокусировки, выбор параметров режима модификации для обеспечения высоты рельефа от 0,1 до 2 мкм, ширины линий от 1 до 50 мкм, шероховатости поверхности не более 50 нм и пропускания модифицированной области в диапазоне от 400 до 1000 нм не менее 90%. Технический результат - точное управление параметрами рельефа. 4 ил.JPEG00000001.jpg144109
