Личный кабинет
Подробное описание документа
Патент на полезную модель № 140218 Российская Федерация, МПК G01L 1/22.
МЕМБРАНА ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ : № 2013139244/28 : заявл. 23.08.2013 : опубл. 10.05.2014 / Базанчук А. И., Крылов Д. М. ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Мембрана датчика давления, выполненная в виде пластины с расположенными на ней тензочувствительными резисторами, и снабженная по периметру соединением с элементом конструкции датчика, отличающаяся тем, что пластина мембраны выполнена из четырех чередующихся слоев: первый слой - термически окисленный кремний, второй слой, непосредственно осажденный на окисел - нитрид кремния и пиролитически нанесенные слой окисла кремния и слой нитрида кремния, с прямоугольными отверстиями, обеспечивающими выравнивание давления под мембраной.
