Личный кабинет
Подробное описание документа
Патент на полезную модель № 164392 Российская Федерация, МПК C30B 33/12, B01J 3/02, C30B 35/00, H01L 21/3065.
НОСИТЕЛЬ ДЛЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ПОДЛОЖЕК ИЗ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ : № 2016112585/05 : заявл. 04.04.2016 : опубл. 27.08.2016 / Ковалёв М. С., Одиноков С. Б., Кузнецов А. С. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Носитель для плазмохимического травления подложек из диэлектрических материалов, содержащий плоское металлическое основание, над основанием плоский металлический экран с отверстием, соответствующим по конфигурации и размеру обрабатываемой подложке, устанавливаемой на основании, с обеспечением электрической изолированности основания и экрана друг от друга за счет диэлектрических прокладочных элементов между ними, отличающийся тем, что экран выполнен металлизированным в виде тонкого металлического покрытия, нанесенного на тонкую диэлектрическую пластину, выполняющую функцию прокладочного элемента; экран лежит на основании под действием собственного веса и находится с ним в оптическом контакте, закрывая полностью площадь контакта основания с плазмой; экран нарезан с обеспечением безотходного раскроя на элементы мозаично-замковой структуры типа «пазл» с возможностью посредством выборочного удаления отдельных элементов мозаично-замковой структуры формирования в экране вышеуказанного отверстия ...
