Личный кабинет
Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2516632 Российская Федерация, МПК C30B 23/02, B82B 3/00, B82Y 40/00, C23C 14/28, C30B 29/04, C30B 30/00.
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПОКРЫТИЙ КОМБИНИРОВАННЫМ ЛАЗЕРНЫМ ВОЗДЕЙСТВИЕМ : № 2012158032/05 : заявл. 28.12.2012 : опубл. 20.05.2014 / Мисюров А. И., Григорьянц А. Г., Шупенёв А. Е. ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к технологиям повышения износостойких, прочностных и антифрикционных свойств металлорежущего инструмента, внешних поверхностей обшивки авиационных и космических летательных аппаратов, оптических приборов и нанотехнологиям. Алмазоподобные покрытия получают в вакууме путем распыления материала мишени импульсным лазером. На материал мишени, выполненной из графита высокой степени чистоты (более 99.9%), воздействуют комбинированным лазерным излучением: сначала коротковолновым (менее 300 нм) импульсным излучением, в качестве источника которого используют KrF-лазер с длиной волны 248 нм и удельной энергией 5·10Вт/см, в результате чего осуществляется абляция и образуется газоплазменная фаза материала мишени. Последующее воздействие на газоплазменное облако во время разлета облака от мишени к подложке осуществляют длинноволновым (более 1 мкм) лазерным излучением. В качестве источника длинноволнового лазерного излучения используют газовый CO-лазер или твердотельный волоконный ...
