Личный кабинет
Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2606363 Российская Федерация, МПК C23C 14/35, C23C 14/56.
Установка карусельного типа для магнетронного напыления многослойных покрытий и способ магнетронного напыления равнотолщинного нанопокрытия : № 2015120001 : заявл. 27.05.2015 : опубл. 10.01.2017 / Кузнецов А. С., Ковалев М. С., Шишлов А. В. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к способу магнетронного напыления многослойного равнотолщинного покрытия и установке для его осуществления и может быть использовано для получения оптических покрытий на поверхности оптических подложек. Последовательное нанесение на плоскую поверхность детали двух слоев с комплементарными профилями и получение равнотолщинного покрытия осуществляют в вакуумной камере с карусельным планетарным механизмом посредством магнетронной системы. Система содержит два магнетрона с мишенями, симметрично и наклонно расположенными к фронтальной плоскости вакуумной камеры и обращенными своими мишенями в сторону карусельного планетарного механизма, и единичный магнетрон с мишенью. Один слой покрытия напыляют симметричным выпуклым посредством единичного магнетрона, осуществляя реверсивное синхронное вращение внутреннего зубчатого колеса и водила упомянутого планетарного механизма в одну сторону и реверсивное вращение сателлита синхронно в противоположную сторону в одних расчетных диапазонах ...
