Личный кабинет
Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2691432 Российская Федерация, МПК C23C 14/14, C23C 14/24.
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ МЕТАЛЛОВ : № 2017147005 : заявл. 29.12.2017 : опубл. 13.06.2019 / Бабурин А. С., Рыжиков И. А., Родионов И. А. ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к осаждению тонкой сплошной монокристаллической металлической пленки методом физического осаждения из газовой фазы. Проводят двухстадийное осаждение пленки в виде слоев. На первой стадии на подложку осаждают затравочный слой при первой температуре, находящейся в диапазоне между 20% и 90% температуры плавления осаждаемого металла, а на второй стадии осаждают большее количество металла на затравочный слой со скоростью осаждения 0,05-50/с при второй температуре, меньшей первой температуры, до образования сплошной монокристаллической металлической пленки толщиной от 10 до 2000 нанометров. В результате осуществления заявленного способа получена тонкая сплошная монокристаллическая металлическая пленка, представляющая собой осажденный на поверхность подложки металл и имеющая толщину 10-2000 нм, менее 20 дефектов на площади более чем 15х15 мм и среднеквадратичную шероховатость поверхности менее 1 нм, измеренную атомно-силовым микроскопом на площади 90 мкм на 90 мкм. Обеспечивается ...
