Личный кабинет
Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2732546 Российская Федерация, МПК C23C 14/54, C23C 14/34, G06F 17/00.
УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ И УПРАВЛЕНИЯ КОМПЛЕКСОМ ИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ : № 2019145134 : заявл. 30.12.2019 : опубл. 21.09.2020 / Онищенко Д. О., Голосов А. С., Коршунов И. С. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение о относится к устройству контроля и управления комплексом импульсного лазерного осаждения (ИЛО). Устройство содержит блок управления импульсным лазером, блок контроля параметров лазера, блок контроля температуры, блок управления температурой на подложке, блок контроля давления в камере осаждения, блок управления давлением в камере осаждения, блок контроля расстояния между подложкой и мишенью, блок управления расстоянием между подложкой и мишенью с соответствующими связями между собой и с комплексом ИЛО и блок предварительного имитационного моделирования процесса ИЛО кинетическим методом Монте-Карло с описанием движения и столкновений с поверхностью каждого отдельно взятого атома из потока осаждаемого вещества применительно к конкретной задаче, с возможностью проведения моделирования таких этапов процесса ИЛО, как поглощение излучения материалом мишени, образование и разлет газо-плазменного облака продуктов абляции, взаимодействие продуктов лазерной абляции с поверхностью подложки ...
