Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2813117 Российская Федерация, МПК G01F 1/684, G01F 1/692.
Микрофлюидный тепловой сенсор потока жидкости : № 2023113799 : заявл. 26.05.2023 : опубл. 06.02.2024 / Ечеистов В. В., Рыжков В. В., Зверев А. В. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к области микрофлюидных устройств и методов их изготовления и может быть использовано для контроля потоков жидкостей и газов в микрофлюидной системе. Сущность изобретения заключается в том, что в тепловом микрофлюидном сенсоре потока жидкости, включающем основание, на первой стороне которого вдоль оси расположены первая измерительная область, вторая измерительная область и третья измерительная область, находящаяся между ними, при этом в первой измерительной области сформирован, по меньшей мере, один первый температурный сенсор, во второй измерительной области сформирован, по меньшей мере, один второй температурный сенсор, в третьей измерительной области сформирован, по меньшей мере, один нагреватель, причем на первой стороне основания расположены также, по меньшей мере, один референсный температурный сенсор, а также сформирован первый массив контактных площадок и второй массив контактных площадок, соединенные с помощью проводящих дорожек с первым температурным сенсором ...
