Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2844921 Российская Федерация, МПК G01B 11/30, G01N 21/95.
Система для определения параметров ангстремного уровня шероховатости и поверхностных неоднородностей контролируемой оптической поверхности : № 2024137283 : заявл. 11.12.2024 : опубл. 11.08.2025 / Карасик В. Е., Сазонкин С. Г., Барышников Н. В. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к области оптического приборостроения, точнее к оптико-электронным системам определения качества оптических поверхностей, характеризующееся соотношением их высотных параметров шероховатости и поверхностных неоднородностей с длиной волны оптического контроля. Система содержит оптически связанные блок источников лазерного излучения, оптическую систему формирования узконаправленного пучка лазерного излучения подсвета на контролируемую поверхность и фотодетектор на основе фотоэлектронного умножителя (ФЭУ) для ответного излучения, рассеянного на контролируемой поверхности, выход фотодетектора связан со входом блока управления и обработки зарегистрированной индикатрисы рассеяния излучения подсвета. При этом оптическая система установлена в одноосной направляющей с возможностью изменения угла падения узконаправленного пучка излучения подсвета на контрольную точку контролируемой поверхности, а фотодетектор установлен в двухосной направляющей с возможностью регистрации рассеянного ...
